WLIRing 干涉仪

WLIRing 干涉仪

                 

        该测量系统用于快速准确测量表面形貌,定量计算粗糙度参数,微型结构,及圆柱形工件的内外部表面特征。
 

特点

l   对内外层都可进行测量

l   光滑粗糙表面都可进行测量

l   测量结果不受工件的颜色和材料影响

l   数秒内进行快速测量

l   用于在线测量的OEM测量头


技术参数

测量头

l   光源:LED

l   垂直分辨率(nm):<1

l   水平分辨率(μm):≥1  

l   焦距,大约(mm)1

l   测量区域的尺寸:由物体决定

l   图像尺寸(Pixel):1000×1000 

移动平台 

l    Z轴(mm):1050

l    步进速度(μm/min):1

 

 应用举例